超声雾化吸入治疗需严格消毒，使用前应检查雾化器各部件有无松动、脱落等异常情况。水槽和雾化罐忌使用温水或热水，使用过程中如发现水槽内水温超过50℃或水量不足，应关机更换冷蒸馏水。如发现雾化罐内药液过少，影响正常雾化，可开机状态下增加药量，由盖上小孔向内注入即可。水槽底部晶体换能器及雾化罐底部透声膜薄而质脆，易破碎，操作和清洗过程中动作应轻柔，以免损坏。特殊情况需连续使用雾化器，中间应间歇30分钟。
超声雾化治疗液体可选用蒸馏水、0.45%盐水或生理盐水。患者气道干燥时可选用蒸馏水或0.45%盐水；需长期湿化则应用生理盐水；心功能不全 应注意生理盐水对心脏负荷增加的影响。超声雾化吸入应用药物必须为水溶性、稳定性好、黏稠度低且适宜人体胶体渗透压。药液浓度不宜过高，以免不易起雾。选用药液对黏膜不宜有刺激性，药液酸碱度以中性为佳，尽量避免使用易引起过敏反应的药物。
应在医生指导下进行雾化吸入治疗，对于长期雾化吸入治疗的患者，雾化量应适中。湿化过度可导致患者痰液增多，痰液增多可能导致患者神志不清或病情危重者，未及时将痰液排出，导致病情恶化甚至发生意外。此外，需防止吸收药物后产生的副作用或毒性。