目前治疗恶性肿瘤的放射治疗主要设备是直线加速器，主要是产生高能X线作用于恶性肿瘤，杀伤肿瘤，高能X线属于光子线，另外，直线加速器还会产生电子线，治疗比较浅表的肿瘤。
目前深部X线机已经处在淘汰状态，比较先进的设备还包括质子治疗机、重离子治疗机，有非常好的物理学优势，主要根据肿瘤情况、深度、范围、侵犯周围正常危及器官所能耐受的照射剂量，选择不同的照射射线。
现在最常规应用的是直线加速器，还有后装放射治疗机，另外粒子植入也属于放射线内照射。
鼻咽癌的放射治疗，采用CT模拟以后直线加速器治疗的方式，往往采用多个照射野调强的放射治疗技术，能达到非常好的治疗剂量分布优化，最大限度地保护正常组织，正常组织对于鼻咽癌而言可能包括晶体、视神经、垂体、腮腺等，比如属于激素瘤，可能质子照射的设备更为适合。
还有儿童肿瘤，考虑到将来放射线引起的后遗作用，还有二次致癌的可能性，所以儿童肿瘤在质子方面的设备应用更多。